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[时讯] 大族激光：公司接近式光刻机已投入市场，步进式光刻机已启动用户优化

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发表于 2023-2-27 14:42:07|显示全部楼层|阅读模式
报告派消息，大族激光近期接受调研时称，目前，公司光刻机项目主要应用在分立器件领域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻机已投入市场，步进式光刻机已启动用户优化，公司将根据市场需求及业务发展情况持续制定研发计划。原文链接
大族激光, 接近式光刻机, 步进式光刻机, 分立器件, 分辨率3-5μm

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